Εφαρμογή της μηχανικής υψηλής απόδοσης πλαστικό peek/pps στο πεδίο ημιαγωγών

February 10, 2023

Εφαρμογή της μηχανικής υψηλής απόδοσης πλαστικό peek/pps στο πεδίο ημιαγωγών

Σε όλη τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ο ρόλος των πλαστικών είναι κυρίως η συσκευασία και η μετάδοση, η σύνδεση διαφόρων διαδικασιών επεξεργασίας, η πρόληψη της ρύπανσης και της βλάβης, η βελτιστοποίηση του ελέγχου της ρύπανσης και η βελτίωση της απόδοσης των βασικών διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών. Τα πλαστικά υλικά που χρησιμοποιούνται περιλαμβάνουν PEEK, PPS, PP, ABS, PVC, PBT, PC, Fluoroplastics, PAI, COP κ.λπ. Με τη συνεχή ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, οι απαιτήσεις απόδοσης των υλικών αυξάνονται επίσης και υψηλότερα.

1. Δαχτυλίδι συγκράτησης CMP

Η χημική μηχανική στίλβωση (CMP) είναι μια βασική τεχνολογία διεργασίας στη διαδικασία παραγωγής πλακιδίων. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας λείανσης, ο δακτύλιος συγκράτησης CMP χρησιμοποιείται για να διορθώσει το δίσκο και το δίσκο. Το επιλεγμένο υλικό θα πρέπει να έχει καλή αντοχή στη φθορά, να είναι σταθερή διαστασιολογική, χημική αντίσταση, εύκολη επεξεργασία και να αποφεύγει τις γρατζουνιές και τη μόλυνση της επιφάνειας δίσκων/στρογγυλής επιφάνειας.
Οι δακτύλιοι συγκράτησης CMP χρησιμοποιούνται για τη συγκράτηση τσιπ κατά τη διάρκεια της λείανσης. Το επιλεγμένο υλικό πρέπει να αποφεύγει τις γρατζουνιές και τη μόλυνση της επιφάνειας του τσιπ. Είναι συνήθως κατασκευασμένο από τυποποιημένο πολυφαινυλενίου σουλφίδιο.
Το PEEK έχει υψηλή διαστάσεων σταθερότητα, εύκολη επεξεργασία, καλές μηχανικές ιδιότητες, καλή αντοχή στη διάβρωση χημικής διάβρωσης και καλή αντοχή στη φθορά. Σε σύγκριση με τους δακτυλίους PPS, οι δακτύλιοι συγκράτησης CMP που κατασκευάζονται από PEEK έχουν ισχυρότερη αντοχή στη φθορά και διπλάσια διάρκεια ζωής, μειώνοντας έτσι το χρόνο διακοπής και την αύξηση της απόδοσης των τσιπ.
Υλικό: PEEK, πολυφαινυλενίου σουλφίδιο

2. Μεταφορέας πλακιδίων

Οι μεταφορείς πλακιδίων χρησιμοποιούνται για τη φόρτωση πλακιδίων, συμπεριλαμβανομένων κιβωτίων μεταφορέων, κουτιά μεταφοράς πλακιδίων και σκαφών. Οι πλακιδίων του χρόνου αποθηκεύονται σε κιβώτια αποστολής αντιπροσωπεύουν ένα μεγάλο μέρος ολόκληρης της παραγωγικής διαδικασίας και το υλικό, η ποιότητα και η καθαριότητα του ίδιου του κιβωτίου δίσκων μπορεί να έχουν μεγαλύτερη ή μικρότερη επίδραση στην ποιότητα των πλακιδίων.
Οι φορείς των πλακιδίων χρησιμοποιούν γενικά αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες, σταθερότητα διαστάσεων, ανθεκτικότητα, αντιστατικό, χαμηλό, χαμηλής βροχόπτωσης και ανακυκλώσιμα υλικά. Το PEEK μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να κάνει τους μεταφορείς για γενικές διαδικασίες μεταφοράς. Χρησιμοποιείται γενικά η αντιστατική ματιά. Το PEEK έχει πολλές εξαιρετικές ιδιότητες, όπως αντίσταση στην τριβή, χημική αντίσταση, σταθερότητα διαστάσεων, αντιστατικό και χαμηλό outgassing, που βοηθούν στην πρόληψη της μόλυνσης των σωματιδίων. Και να βελτιώσει την αξιοπιστία της επεξεργασίας, της αποθήκευσης και της μεταφοράς τσιπ.
Τα υλικά περιλαμβάνουν: PEEK, PFA, PP, PES, PC, PEI, COP, κ.λπ., γενικά μετά την αντιστατική τροποποίηση

3. Κουτί μάσκας

Μια φωτομέση είναι ένας κύριος μοτίβου που χρησιμοποιείται στη διαδικασία φωτολιθογραφίας στην κατασκευή τσιπ. Βασίζεται σε γυαλί χαλαζία και επικαλυμμένο με χρωμίου για να μπλοκάρει το φως. Χρησιμοποιώντας την αρχή της έκθεσης, η πηγή φωτός προβάλλεται πάνω στο δίσκο πυριτίου μέσω φωτομέτας για να εκθέσει και να εμφανίζει συγκεκριμένα μοτίβα. Οποιαδήποτε σκόνη ή γρατζουνιές που προσκολλώνται στη φωτομέση θα υποβαθμίσουν την ποιότητα της προβλεπόμενης εικόνας. Ως εκ τούτου, είναι απαραίτητο να αποφευχθεί η μόλυνση της φωτομέτας και να αποφευχθεί η πρόσκρουση που παράγονται από την πρόσκρουση ή την τριβή να επηρεάσει την καθαριότητα της φωτομέτας.
Για να αποφευχθεί η ζημιά των φωτομέτρων που οφείλονται στην ομίχλη, την τριβή ή την μετατόπιση, τα pods φωτομέτας είναι γενικά κατασκευασμένα από αντιστατικά, χαμηλά, ανθεκτικά υλικά.
Το PEEK έχει τα χαρακτηριστικά της υψηλής σκληρότητας, της πολύ μικρής παραγωγής σωματιδίων, της υψηλής καθαριότητας, της αντιστατικής, της χημικής αντοχής στη διάβρωση, της αντοχής στη φθορά, της αντοχής στην υδρόλυση, της καλής διηλεκτρικής αντοχής και της καλής αντοχής στην ακτινοβολία. Και κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας των δικτύων, τα τσιπς των δικτύων μπορούν να αποθηκευτούν σε ένα περιβάλλον με χαμηλή outgassing και χαμηλή ιοντική μόλυνση.
Υλικό: Αντι-στατική PEEK, Αντι-Στατικό PC, κ.λπ.

4. Εργαλεία πλακιδίων

Τα εργαλεία για τη σύσφιξη των δισκίων ή των θαλάσσιων πλακών, όπως σφιγκτήρες πλακιδίων, στυλό αναρρόφησης κενού κ.λπ., κατά τη σύσφιξη των θαλάσσιων πλακιδίων, τα υλικά που χρησιμοποιούνται δεν θα γρατζουνίζουν την επιφάνεια του δίσκου και δεν έχουν υπολείμματα, εξασφαλίζοντας την ακεραιότητα της καθαριότητας της επιφάνειας των δισκίων.
Το PEEK έχει τα χαρακτηριστικά της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, της αντίστασης στη φθορά, της καλής διαστάσεων σταθερότητας, του χαμηλού ρυθμού outgassing και της καλής υγροσκοπικότητας. Κατά τη σύσφιξη των πλακιδίων και των πλακιδίων με σφιγκτήρες πεταλούδων, δεν θα υπάρχουν γρατζουνιές στην επιφάνεια του δίσκου ή του δισκίου. Το ξύσιμο δεν προκαλεί υπολείμματα σε γκοφρέτες και γκοφρέτες λόγω τριβής, βελτιώνοντας την καθαριότητα των επιφανειών και των πλακών.
Υλικό: Peek

5. Δοκιμή πακέτου ημιαγωγών

Μια υποδοχή δοκιμής είναι μια συσκευή που συνδέει ηλεκτρικά το άμεσο κύκλωμα κάθε συστατικού ημιαγωγού σε ένα όργανο δοκιμής. Διαφορετικές υποδοχές δοκιμής χρησιμοποιούνται για τη δοκιμή διαφόρων μικροτσίπ ειδικά για τον σχεδιαστή IC. Το υλικό που χρησιμοποιείται για την υποδοχή δοκιμής θα πρέπει να πληροί τις απαιτήσεις της καλής διαστάσεων σταθερότητας, υψηλής μηχανικής αντοχής, μικρότερου σχηματισμού Burr, καλής ανθεκτικότητας, ευρείας θερμοκρασίας και εύκολης επεξεργασίας.
Υλικό: Peek, PPS, PAI, PI, PEI